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2015凯尔特人阵容:低成本制作复杂三维微结构或微器件方法专利登记公告


波士顿凯尔特人主场 www.jvyiz.club 专利名称:低成本制作复杂三维微结构或微器件方法

摘要:本发明公开了一种低成本制作复杂三维微器件或微结构方法,该方法基于叠层制造原理,综合紫外光压印光刻(或准LIGA)、微电化学加工、牺牲层和溶脱等多种微细加工工艺的优点。整个工艺过程包括微器件三维CAD实体模型微分层、模版制作、多层微器件牺牲层和结构层制作、溶脱和后处理;该方法不但能够实现金属材料复杂三维微器件的制作(例如具有复杂曲面几何形状、高深宽比、悬空、倒切等微结构特征),还可制作具有多层复合材料微器件,具有成本低、精度高、与集成电路工艺兼容和不受复杂几何形状约束的特点。特别适合形状复杂和高导电材料低损耗的RF MEMS器件、可调电容、螺线管、变压器等微器件的制作。

专利类型:发明专利

专利号:CN200610042831.0

专利申请(专利权)人:西安交通大学

专利发明(设计)人:兰红波;丁玉成;刘红忠;卢秉恒

主权项:权利要求书1.一种低成本制作复杂三维微结构或微器件方法,其特征在于,该方法首先将采用MEMS CAD等工具设计完成的微器件三维CAD实体模型输入专用分层软件,利用该软件的微分层功能把微器件三维CAD实体模型沿高度方向离散成一系列具有一定厚度二维层片,得到每层截面的几何数据信息,生成工艺数据和CIF格式掩摸文件;随后根据工艺数据和CIF格式掩摸文件制作每层的压印模具或掩膜版;然后,在基片上进行预处理和溅射种子层;在种子层上进行涂胶、压印光刻或准LIGA工艺制作第一牺牲层,第一牺牲层完成后通过微电铸或化学镀制

专利地区:陕西