超過800萬條軟件/作品著作權公告信息!

提供基于中國版權?;ぶ行囊約案魘∈邪嬡ň種魅ǖ羌槍嫘畔⒉檠?/p>

07-08凯尔特人球员:低成本制作復雜三維微結構或微器件方法專利登記公告


波士顿凯尔特人主场 www.jvyiz.club 專利名稱:低成本制作復雜三維微結構或微器件方法

摘要:本發明公開了一種低成本制作復雜三維微器件或微結構方法,該方法基于疊層制造原理,綜合紫外光壓印光刻(或準LIGA)、微電化學加工、犧牲層和溶脫等多種微細加工工藝的優點。整個工藝過程包括微器件三維CAD實體模型微分層、模版制作、多層微器件犧牲層和結構層制作、溶脫和后處理;該方法不但能夠實現金屬材料復雜三維微器件的制作(例如具有復雜曲面幾何形狀、高深寬比、懸空、倒切等微結構特征),還可制作具有多層復合材料微器件,具有成本低、精度高、與集成電路工藝兼容和不受復雜幾何形狀約束的特點。特別適合形狀復雜和高導電材料低損耗的RF MEMS器件、可調電容、螺線管、變壓器等微器件的制作。

專利類型:發明專利

專利號:CN200610042831.0

專利申請(專利權)人:西安交通大學

專利發明(設計)人:蘭紅波;丁玉成;劉紅忠;盧秉恒

主權項:權利要求書1.一種低成本制作復雜三維微結構或微器件方法,其特征在于,該方法首先將采用MEMS CAD等工具設計完成的微器件三維CAD實體模型輸入專用分層軟件,利用該軟件的微分層功能把微器件三維CAD實體模型沿高度方向離散成一系列具有一定厚度二維層片,得到每層截面的幾何數據信息,生成工藝數據和CIF格式掩摸文件;隨后根據工藝數據和CIF格式掩摸文件制作每層的壓印模具或掩膜版;然后,在基片上進行預處理和濺射種子層;在種子層上進行涂膠、壓印光刻或準LIGA工藝制作第一犧牲層,第一犧牲層完成后通過微電鑄或化學鍍制

專利地區:陜西